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Andreas Schatz
Gepulste Laserabscheidung von piezoelektrischen Pb(Zr,Ti)O3-Dünnschichten zur Anwendung in mikroelektromechanischen Systemen
Band 18
ISBN 978-3-8440-6937-2, Deutsch, Paperback,
180 Seiten,
24 x 17 cm, 322 g, 78 Abbildungen,
48,80 € / 61,10 SFR
September 2019
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