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Felix Petri
Modellbildung auf Geometrie- und Systemebene für Squeeze-Film-Dämpfung und Wärmeverlust in mikromechanischen Sensoren unter Berücksichtigung ausgedünnter Gase
ISBN 978-3-8322-6354-6, Deutsch, Paperback,
142 Seiten,
21 x 14,8 cm, 209 g, 52 Abbildungen,
45,80 € / 91,60 SFR
Juli 2007
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