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November 2007
Robert Sattler
Physikalisch basierte Mixed-Level Modellierung von gedämpften elektromechanischen Mikrosystemen
Schlagwörter: Elektrotechnik; Physik; Mikrosystemtechnik; Squeeze-Film-Dämpfung
Selected Topics of Electronics and Micromechatronics Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik
Herausgegeben von Prof. Dr. Gerhard Wachutka †, Prof. Dr. Doris Schmitt-Landsiedel † und Prof. Dr. rer. nat. Gabriele Schrag, München
Band 28
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