Shop : Details
Shop
Details
Januar 2004
Lars Dreeskornfeld
Herstellung und Charakterisierung von ultradünnen SOI-MOSFETs mit sub-50 nm Gatelängen
Schlagwörter: SOI-MOSFET; Fully-Depleted SOI; Partially-Depleted SOI; Electron Beam Lithography; Dry Etching; MORI; sub-50 nm
Selected Topics of Electronics and Micromechatronics Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik
Herausgegeben von Prof. Dr. Gerhard Wachutka †, Prof. Dr. Doris Schmitt-Landsiedel † und Prof. Dr. rer. nat. Gabriele Schrag, München
Band 9
Verfügbare Online-Dokumente zu diesem Titel
Sie benötigen den Adobe Reader, um diese Dateien ansehen zu können. Hier erhalten Sie eine kleine Hilfe und Informationen, zum Download der PDF-Dateien.
Bitte beachten Sie, dass die Online-Dokumente nicht ausdruckbar und nicht editierbar sind.
Bitte beachten Sie auch weitere Informationen unter: Hilfe und Informationen.
Bitte beachten Sie auch weitere Informationen unter: Hilfe und Informationen.
| Dokument |  | Abstract / Kurzzusammenfassung | ||
| Dateiart |  | |||
| Kosten |  | frei | ||
| Aktion |  | Download der Datei | ||
| Dokument |  | Gesamtdokument | ||
| Dateiart | | |||
| Kosten |  | 34,35 € | ||
| Aktion |  | Zahlungspflichtig kaufen und download der Datei | ||
| Dokument |  | Inhaltsverzeichnis | ||
| Dateiart | | |||
| Kosten | | frei | ||
| Aktion | | Download der Datei | ||
Benutzereinstellungen für registrierte Online-Kunden (Online-Dokumente)
Sie können hier Ihre Adressdaten ändern sowie bereits georderte Dokumente erneut aufrufen.
Benutzer
Nicht angemeldet
Export bibliographischer Daten
Shaker Verlag GmbH
Am Langen Graben 15a
52353 Düren
Am Langen Graben 15a
52353 Düren
Mo. - Do. 8:00 Uhr bis 16:00 Uhr
Fr. 8:00 Uhr bis 15:00 Uhr
Fr. 8:00 Uhr bis 15:00 Uhr
Kontaktieren Sie uns. Wir helfen Ihnen gerne weiter.
