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978-90-423-0080-4
36,00 €
ISBN 978-90-423-0080-4
Paperback
200 Seiten
20 Abbildungen
294 g
17 x 24 cm
Englisch
Dissertation
August 1999
Z.M. Rittersma
Microsensor Applications of Porous Silicon
From humidity-sensitive Sheet to Sacrificial Layer
Schlagwörter: transduction; microsensors; porous silicon; humidity sensors; humidity monitoring instrument; micromachining
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