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März 2015
Teresa Reutter
Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation
Es wird ein neuartiges Design für ein Piezo-MEMS-Mikrophon entwickelt, dessen Membran herstellungsbedingte intrinsische Spannungen kompensiert. Die Optimierung stützt sich dabei auf ein kalibriertes elektromechanisches FEM-Modell mit einem reduzierten Satz an signifikanten Parametern, die mittels Varianzanalyse identifiziert werden. Schließlich wird ein Kirchhoffsches Netzwerkmodell für die Gehäusedämpfung erstellt, womit sich eine Mikrophonsensitivität von -40,6 dBV prognostizieren lässt.
Schlagwörter: MEMS-Mikrophon; FEM; Simulation; ANOVA; AlN
Selected Topics of Electronics and Micromechatronics Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik
Herausgegeben von Prof. Dr. Gerhard Wachutka †, Prof. Dr. Doris Schmitt-Landsiedel † und Prof. Dr. rer. nat. Gabriele Schrag, München
Band 47
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DOI 10.2370/9783844034905
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