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August 2014
Thomas Bodendorfer
Ebenheits- und Rauheitsmessung mittels Speckle-Interferometrie
Steigende Anforderungen an die Qualität technischer Oberflächen bezüglich geometrischer Toleranzen und Oberflächeneigenschaften können nur umgesetzt werden, wenn sie auch messtechnisch erfasst werden können. Diese Arbeit präsentiert ein neuartiges Verfahren zur gleichzeitigen quantitativen Erfassung von Topografie und Rauheit bei technischen Oberflächen unter Einsatz von Speckle-Interferometrie und multivariater Datenanalyse. Das vorgestellte Messverfahren arbeitet berührungslos und zerstörungsfrei und ist darüber hinaus in der Lage, im Bruchteil einer Sekunde verschiedene Rauheitskenngrößen und Informationen zur Oberflächenform zu liefern.
Schlagwörter: Speckle; Ebenheit; Form; Rauheit
Reports on Measurement and Sensor Systems
Herausgegeben von Prof. Dr.-Ing. Alexander W. Koch, München
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