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Juli 2009
Ingo Kühne
Resonante mikromechanische Energiewandler
Schlagwörter: Mikrosystemtechnik; Mikromechanik; MEMS; Energiewandler; Vibration; Austrittsarbeit; Piezoelektrizität; Energieautark; Generator
Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik – Recent Developments in MEMS
Herausgegeben von Prof. Dr. Andreas Schütze und Prof. Dr. Helmut Seidel, Saarbrücken
Band 8
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