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August 1999
Dirk Hegemann
Plasmagestützte Prozesse zur Abscheidung neuer Hartstoffschichten
Schlagwörter: Materialwissenschaft; Plasmabeschichtung; Plasmaphysik; Plasmaabscheidung; rF-Entladung; Plasmareaktoren; BCN; SiBCN; SiOx; Hartstoffe; Disperse Feststoffe
Forschungsberichte Neue Materialien aus dem Fachgebiet Disperse Feststoffe TU Darmstadt
Herausgegeben von Prof. Dr. rer. nat. Ralf Riedel, Darmstadt
Band 8
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