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Rezensionsexemplar
978-3-8265-6356-0
47,00 €
ISBN 978-3-8265-6356-0
Paperback
160 Seiten
71 Abbildungen
237 g
20,5 x 14,5 cm
Deutsch
Dissertation
August 1999
Dirk Hegemann
Plasmagestützte Prozesse zur Abscheidung neuer Hartstoffschichten
Schlagwörter: Materialwissenschaft; Plasmabeschichtung; Plasmaphysik; Plasmaabscheidung; rF-Entladung; Plasmareaktoren; BCN; SiBCN; SiOx; Hartstoffe; Disperse Feststoffe
Forschungsberichte Neue Materialien aus dem Fachgebiet Disperse Feststoffe TU Darmstadt
Herausgegeben von Prof. Dr. rer. nat. Ralf Riedel, Darmstadt
Band 8
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