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Rezensionsexemplar
Fatih Alatas
Kapazitives Messsystem zur Charakterisierung von planaren elektronischen Strukturen
Zentrales Thema der Arbeit ist ein kapazitives Inspektions- und Messsystem für planare elektrische Strukturen. Dieses System ermöglicht eine bildgebende Messung zur Struktur- und Funktionsinspektion, sowie eine berührungslose Spannungsmessung. Im Rahmen der Arbeit wird hierzu die dem Messsystem zu Grunde liegende Theorie erarbeitet, sowie das Messsystem aufgebaut, charakterisiert und validiert. Ferner wird ein Messansatz zur simultanen Messung von zwei unabhängigen Messgrößen erarbeitet und evaluiert.
Schlagwörter: kapazitive Messtechnik; berührungsloses Messen; Messsystem; Inspektion planarer Strukturen
Reports on Measurement and Sensor Systems
Herausgegeben von Prof. Dr.-Ing. Alexander W. Koch, München
Shaker Verlag GmbHAm Langen Graben 15a52353 Düren
Mo. - Do. 8:00 Uhr bis 16:00 UhrFr. 8:00 Uhr bis 15:00 Uhr
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