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48,80 €
ISBN 978-3-8440-4086-9
Paperback
156 Seiten
70 Abbildungen
231 g
24 x 17 cm
Deutsch
Dissertation
Dezember 2015
Martin Schreivogel
Gassensitivität und Hochtemperatureigenschaften dielektrischer Dünnschichten
Die Dissertation beschäftigt sich mit dem Signalbildungsmechanismus an mikrostrukturierten, feldeffektbasierten Gassensoren. Dazu werden einerseits die Polarisationsprozesse in dielektrischen Dünnschichten bei hohen Temperaturen untersucht. Andererseits wird eine neue Methode zur ortsaufgelösten Oberflächenpotentialmessung auf isolierenden Schichten entwickelt.
Schlagwörter: Gassensor; Dielektrikum; Adsorption; Feldeffekttransistor; Polarisation
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