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978-3-8322-0572-0
48,80 €
ISBN 978-3-8322-0572-0
Paperback
206 Seiten
154 Abbildungen
285 g
21 x 14,8 cm
Deutsch
Dissertation
August 2002
Jens Ferbitz
Monomere und Polymere für die 157-nm Mikrolithographie
Schlagwörter: Chemie; Mikrolithographie; Copolymerisation; CARL-Prozess; Copolymerisationsparameter; Monomere; Polymere; 157-nm Mikrolithographie
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