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978-3-8265-4303-6
49,00 €
ISBN 978-3-8265-4303-6
Paperback
240 Seiten
356 g
20,5 x 14,5 cm
Deutsch
Dissertation
September 1998
Lüder Elbrecht
Möglichkeiten und Grenzen der Silizium-Planartechnologie zur Herstellung mikromechanischer Sensoren und deren Verkapselung
Schlagwörter: Mikromechanik; Mikrosystemtechnik; Sensorik
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