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Juli 2025
eBook (PDF)
Michael Krauhausen
Mehrwellenlängeninterferometrie mit Lasertriangulation zur Dickenmessung im Herstellprozess von metallischen Bändern
Dünne Metallfolien mit einer Dicke von 5 μm bis zu mehreren 100 μm finden zunehmend Verwendung in High-Tech-Anwendungen. Sie werden für die Herstellung von Batteriezellen, Solarzellen und elektrischen Steckverbindungen benötigt. Die Folien werden in einem mehrstufigen Kaltwalzverfahren unter Einsatz von Kühlschmiermittel hergestellt. Zur Regelung des Walzprozesses ist eine Inline-Banddickenmessung notwendig. Unter äußerst schwierigen Umgebungsbedingungen wird eine Messgenauigkeit im Submikrometerbereich angestrebt. Im Rahmen dieser Dissertation wurde ein optisches Dickenmessgerät entwickelt, das die Messverfahren Lasertriangulation und Mehrwellenlängen-Interferometrie kombiniert. Die modulationsbasierte 2f-3f-Interferometrie wurde eingesetzt, um einen kompakten und robusten Sensor zu realisieren.
Schlagwörter: Interferometrie; Banddickenmessung; Triangulation
Schriftenreihe des Instituts für Produktionsmesstechnik
Herausgegeben von Prof. Dr.-Ing. Rainer Tutsch, Braunschweig
Band 19
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Print-Version: 978-3-8191-0139-7
DOI 10.2370/9783819102141
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