Christian StrengerHerstellung und Charakterisierung von Metall-Oxid-Halbleiter-Kondensatoren und Feldeffekttransistoren auf 4H-Siliciumcarbid | |
ISBN: | 978-3-8440-3495-0 |
Reihe: | Erlanger Berichte Mikroelektronik Herausgeber: Prof. Dr.-Ing. H. Ryssel und Prof. Dr. rer. nat. L. Frey Erlangen |
Band: | 2015,2 |
Schlagwörter: | Transistor; SiC; EELS; MOSFET |
Publikationsart: | Dissertation |
Sprache: | Deutsch |
Seiten: | 194 Seiten |
Abbildungen: | 38 Abbildungen |
Gewicht: | 287 g |
Format: | 21 x 14,8 cm |
Bindung: | Paperback |
Preis: | 48,80 € / 61,00 SFr |
Erscheinungsdatum: | März 2015 |
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Zusammenfassung | Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Herstellung und der Charakterisierung von Metall-Oxid-Halbleiter-Kondensatoren und Feldefekttransistoren auf der Siliciumseite von 4H-Siliciumcarbid (4H-SiC). |