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Nils Rasmus Behnel
Technologieplattform für die Herstellung von MEMS aus Siliziumcarbid am Beispiel eines Drucksensors
Band 22
ISBN 978-3-8440-0962-0, Deutsch, Paperback,
150 Seiten,
21 x 14,8 cm, 221 g, 85 Abbildungen,
45,80 € / 57,25 SFR
April 2012
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